放大倍率：范围：12×～×调整：粗、细调模式连续可调，预设定：可从用户菜单中选择设定值自动补偿：随着工作距离或加速电压的变化，自动精确校正放大倍数校准：对于图像输出装置的改变，自动精确校正放大倍数

电子发射源：肖特基场发射(热场发射)电子源，透镜系统：专利的GEMINI电磁/静电式物镜系統(80度圆锥形的末级透镜)带有水冷以得到最佳的热稳定性和重复性，聚焦：工作距离：范围由1mm至50mm取决于工作条件，控制：具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调自动聚焦控制：粗调、细调，聚焦补偿：自动补偿以达到在整个加速电压范围的最小的聚焦变化动态聚焦：对在倾斜样品上的聚焦进行校正，旋转补偿：对在工作距离改变时出现的图像旋转进行自动校正倾斜补偿：自动矫正由于样品倾斜引起的放大倍数变化；

消像散器，八级电磁式控制：使用鼠标或使用“2D引导框”进行X和Y调整；

光栏，数量：6个调整：电磁选择和软件调整，尺寸：7.5uml0um，20um30um，60um120um，聚焦摆动：用以辅助光栏对中具有可调的幅度和速度；

扫描速率：0.09秒/帧～42分/帧，扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿；

样品室尺寸：330 mm内径270mm高，最大样品尺寸：不小于200mm(直径)样品置换时问(抽真空时间)：不大于4分钟，附件接ロ：在样品室上提供九个附件接口可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等，分析工作距离8.5

探测器类型镜筒内(In-lens)二次电子探测器、样品室E-T②次电子探测器、4分割固态AsB背散射电子探测器、具有IR照明的CCD摄像机

存储分辨率：512 x 384像素、l024 x 768像素、2048 x 1536像素、3072 x 2304像素均为16位深度，显示分辨率：像素降噪处理：像素平均、连续平均、帧和行叠加，具有数据区、状态显示、图像注释和测量功能可在Windows支持的外部设备上存储及打印图潒；

真空系统：全自动，具有自动操作的气动镜筒隔离阀门由机械旋转泵、涡轮分子泵、离子吸气泵组成，样品室极限真空度：优于2.0×l 0-4Pa