【摘要】:功能梯度材料应用前景广阔 ,特别在 IF研究中 ,梯度靶是一种重要的基础 -基准靶以u2 O和 60 为原料 ,用真空蒸镀法在石英基底上制备了 u2 O/60 梯度薄膜 ,并用 XPS,AFM,紫外光谱仪对其成份分咘、表面形貌、紫外吸收谱进行了测试。测量结果表明 ,薄膜的组成沿厚度方向呈连续梯度变化 ,符合梯度功能材料的变化规律