原因：旋涂光刻胶的厚度与曝光嘚光源波长有关（不同级别的曝光波长对应不同的光刻胶种类和分辨率）：I-line最厚约/usercenter?uid=de705e79070b">叶叶卿卿
早期的光刻胶一般对黄光不敏感，而对其他波长的光比较敏感因此clean room里面的照明一般都是黄光照明，避免了光辐照后可能产生酸或产生交联（和曝光的效果一样只是剂量少一点）；现在很多光刻胶的光学性质发生了很大改变，不一定只是黄光才不敏感但是之前一直用黄光照明，那么就一直沿用下来了
另一个原洇是，光刻过程中可能需要很多光刻胶万一用到一种早期光刻胶呢？所以还是用黄光比较保险
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黄光源的波长不会破坏光刻胶的特性.
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