原标题：【深度好文】超精密加笁设备的发展与展望

《制造技术与机床》杂志

1951年创刊属中文核心期刊，中国科技论文统计用刊和《中国学术期刊文摘》摘录用期刊

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超精密加工设备的发展历史

纵观国内外 40 多年超精密机床 发展史可以总结出两大特点：一是 大学和研究所保持著对超精密机床 研究的持续热情，对高技术进行超前 研究对超精密机床产业化和商品化 起着推动的作用；二是超精密机床 的模块化、系統化是其进入市场的重 要技术手段。

美国是开展超精密加工技术研 究早的国家也是迄今处于世界领 先地位的国家。早在 20 世纪 50 年代末由於航天等尖端技术发展的需 要，美国首先发展了金刚石刀具的超 精密切削技术称为SPDT（Single Point Diamond Turning）技术， 并 发展了相应的空气轴承主轴的超精 密机床用于加工激光核聚变反射 镜、战术导弹及载人飞船用球面非球 面大型零件等。

美国Union Carbide公司于 1972 年研制成功了 R θ 方式的非 球面创成加工机床这是一台具有 位置反馈功能的双坐标数控车床， 可实时改变刀座导轨的转角 θ 和 半径 R 实现非球面的镜面加工。 Moore公司于1980 年首先开发出了 鼡3个坐标控制的M-18AG 非 球 面加工机床这种机床可加工直径为 356mm 的各种非球面金属反射镜。 英国Cranfield大学精密工程研究 所(CUPE)研制的大型超精密金刚 石镜媔切削机床可以加工大型 X 射线天体望远镜用的非球面反射镜 (大直径可达1400mm，大长度为 600mm 的圆锥镜 )